基础技术参数: 型 号: FUNCTION 564 n 行 程: X轴 500 mm Y轴 600 mm Z轴 400 mm ˉ 结构型式:活动桥式 ˉ 传动方式:直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承 ˉ 长度测量系统:RENISHAW开放式光栅尺,分辨率为0.5μm ˉ 机 台:高精度(00级)花岗岩平台 ˉ 使用环境:温度(20±2)℃,湿度55%-65% ,温度梯度1℃/m,温度变化 1℃/h ˉ 空气压力:0.4 MPa - 0.5 Mpa ˉ 空气流量:120 L/min – 140 L/min ˉ 整机尺寸(LWH):1.2m X 1.4 m X 2.3 m ˉ 机台承重:500 kg ,整机重量:850 Kg 空间测量精度:(2.80+L/300)μm