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主要特点:1. 气体流量全硬件闭环PID 控制,保证了高可靠性和稳定性;2. 温度控制采用纯滞后模糊PID 算法,保证了升温恒温的精确;3. 高密度缠绕电阻丝,使炉丝管内垂直与水平方向形成极好的恒温区;4. 气体控制采用专用直动式电磁截止阀,流量采用定制高精度热式质量流量计;

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